電子特氣行業發展分析 技術壁壘高 國產化趨勢加速

• 2022年11月16日 WuAoYan來源：互聯網 773 46
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電子特種氣體是電子氣體的一個重要分支，是集成電路、顯示面板等電子工業生產中不可或缺的原材料。電子特氣種類眾多，廣泛應用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等環節，被稱為集成電路、液晶面板、LED及光伏等材料的“糧食”和“源”，決定了器件的最終良率和可靠性。

電子特種氣體是電子氣體的一個重要分支，是集成電路、顯示面板等電子工業生產中不可或缺的原材料。電子特氣種類眾多，廣泛應用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等環節，被稱為集成電路、液晶面板、LED及光伏等材料的“糧食”和“源”，決定了器件的最終良率和可靠性。

電子特氣廣泛應用于半導體、微電子和相關的太陽能電池等高科技產業，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、保護氣氛等等。由于半導體和微電子技術向更高性能、更高集成度發展，對電子特氣的純度提出了越來越高的要求，電子特氣的的凈化愈加關鍵和重要。

根據中研普華產業研究院發布的《2021-2026年電子特氣行業市場深度分析及發展策略研究報告》顯示：

電子特氣上游多為III(硼、鋁、鎵)、IV(碳、硅、鍺)、V(氮、磷、砷)族元素及鹵族元素(氟、氯)的基礎化工產業，下游在集成電路、面板、LED等領域的各個工藝環節均有多種用途。電子特氣是集成電路、顯示面板等電子工業生產不可或缺的原材料，2021年，電子特氣在集成電路中的應用占比達43%，其次為顯示面板，占比21%，LED和光伏分別占比13%，6%，主要應用環節包括離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等。

集成電路是電子特氣主要下游應用，21年占比達43%。半導體產業是我國國民經濟的基礎性和戰略性產業，政策加持下，打造“中國芯”、實現進口替代的緊迫性、重要性不斷加強。2011年中國大陸晶圓產能僅占全球9%，2021年已達16%，預計到2024年將達19%，產業鏈逐步向國內轉移。據統計，2021-2022年全球共新增晶圓廠29座，其中中國大陸新增8座，占比達到27.59%。

技術壁壘高 國產化趨勢加速

作為集成電路、顯示面板、光伏能源等國家戰略產業的關鍵基礎原料，進口依賴度較高的電子特氣成為了我國發展科技、新能源道路上的“卡脖子”環節。

電子特氣技術壁壘高，認證周期長，是集成電路不可或缺的基礎材料。電子特氣在生產過程中涉及多項工藝技術，包括合成、純化、混合氣配置、充裝、分析檢測等，形成了較高的技術壁壘。

電子特氣在光伏能源、光纖光纜領域的審核認證周期通常為0.5-1 年，顯示面板領域通常為1-2 年，集成電路領域長達2-3 年。在半導體產業材料領域，氣體的市場規模占半導體產業材料總體規模的14.1%，僅次于硅片排名第二。

被稱為“芯片血液”的電子特氣，在芯片制造中的需求量僅次于大硅片，融通著晶圓制造的多個環節。

離子注入、刻蝕、薄膜沉積、摻雜等工藝中都要用到特殊氣體，這些氣體超過110種，常用的有20-30種。

特別是以氦氖氪氙為主的混合氣體，是光刻環節不可或缺的材料。光刻機激光腔體注入混合氣體，才能發射出特定波長和能量的激光，進而去除芯片表層的光刻膠，在芯片表面形成納米級的電路圖。

隨著晶圓廠不斷擴充軍備，電子特氣市場規模持續增長。中國半導體行業協會數據顯示，中國電子特氣市場規模在過去十年翻了一番，2020年達到了150億元。

預計2024年中國電子特氣市場規模將提升到230億元，4年CAGR為11.28%，屆時中國將占據全球6成的市場。

21世紀以來，全球氣體行業形成了美國空氣集團、法國液空集團、德國林德集團、 日本太陽日酸四家巨頭公司壟斷的行業格局;2018年，四家氣體巨頭占據了全球電子特氣市場約91%的市場份額。

由于我國電子特氣行業起步晚，過去國內氣體企業與國外巨頭存在較大技術 代差，2020年我國電子特氣國產化率僅14%。

電子特氣對物流配送要求與一站式服務需求較高：電子特氣供氣模式以零售氣體模式為主，需要供應商在保證服務高效、及時的 同時能合理控制成本;同時客戶希望氣體企業能滿足其一站式的用氣需求，對綜合服務能力有較高要求。在零售氣體模式上具有本土區位優勢，在現場制氣模式上積極向氣體綜合服務拓展：在零售氣體模式上，相較于從海外運輸氣體，國產企業具有明顯的本土區位優勢;在現場制氣模式上，國產企業逐步向氣體綜合服務模式邁進，為客戶提供整套氣體服務。

目前國內電子特氣第一梯隊的廠商已經具備規模生產能力，在細分領域產品具有一定優勢，但和國外龍頭企業相比還有較大差距，國產替代空間巨大。

國內電子特氣廠商經過多年發展，逐步突破了相關認證壁壘與技術壁壘。凱美特氣于2021年相繼通過了法國液空、美國相干的稀有氣體、混配氣認證，電子特氣業務開始逐漸放量;華特氣體已實現20多種氣體產品的進口替代，是國內唯一一家通過荷蘭ASML和日本GIGAPHOTON株式會社認證的氣體公司;金宏氣體的檢測中心獲得CNAS認證，其超純氨產品已經基本實現進口替代，占據國內大部分市場。

更多行業詳情請點擊中研普華產業研究院發布的《2021-2026年電子特氣行業市場深度分析及發展策略研究報告》。

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  2021-2026年電子特氣行業市場深度分析及發展策略研究報告

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