作為集成電路、顯示面板、光伏能源等國家戰略產業的關鍵基礎原料,進口依賴度較高的電子特氣成為了我國發展科技、新能源道路上的“卡脖子”環節,電子特氣的供應安全問題亟待解決。自2009年起,國家發改委、科技部及工信部等多部門相繼出臺多項產業相關政策,明確了特種
作為集成電路、顯示面板、光伏能源等國家戰略產業的關鍵基礎原料,進口依賴度較高的電子特氣成為了我國發展科技、新能源道路上的“卡脖子”環節,電子特氣的供應安全問題亟待解決。自2009年起,國家發改委、科技部及工信部等多部門相繼出臺多項產業相關政策,明確了特種氣體的新材料產業屬性,有力推動了行業的快速發展,電子特氣國產化趨勢加速。
電子特種氣體(簡稱電子特氣,是指用于半導體、平板顯示及其它電子產品生產的特種氣體。在整個半導體行業的生產過程中,從芯片生長到最后器件的封裝,幾乎每一個環節都離不開電子特氣,而且所用氣體的品種多、質量要求高,所以電子氣體又有半導體材料的“糧食”之稱。
特種氣體的生產過程涉及合成、純化、混合氣配制、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項工藝,同時客戶對氣體的純度、精度等方面有著復雜要求,由此形成了較高的技術壁壘。近年來,國產氣體企業在氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、分析檢測等方面均實現了技術突破。在氣體純化環節,國產企業已能夠將部分電子特氣實現9N(99.9999999%)級別的純度;在氣體混配環節,國產企業可使配氣誤差達到±2%以內;在氣瓶處理環節,國產企業可使粗糙度達到0.2μm以下;在氣體分析檢測環節,國產企業對多種氣體的檢測精度可達0.1ppb。國產氣體企業已在部分特種氣體上擁有自主核心技術,為推進電子特氣國產替代打下了工藝基礎。
電子特氣是集成電路、顯示面板等電子工業生產不可或缺的原材料,2021年,電子特氣在集成電路中的應用占比達43%,其次為顯示面板,占比21%,LED和光伏分別占比13%,6%,主要應用環節包括離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等。集成電路是電子特氣主要下游應用,21年占比達43%。半導體產業是我國國民經濟的基礎性和戰略性產業,政策加持下,打造“中國芯”、實現進口替代的緊迫性、重要性不斷加強。2011年中國大陸晶圓產能僅占全球9%,2021年已達16%,預計到2024年將達19%,產業鏈逐步向國內轉移。據統計,2021-2022年全球共新增晶圓廠29座,其中中國大陸新增8座,占比達到27.59%。
氣體專業社會化外包占比較海外仍有差距,有望從2021年的65%提升至2025年的70%-75%:工業氣體的制氣模式有自建設 備制氣和外包供氣,我國外包供氣市場份額從2017年的55%增至2021年的65%,但與發達國家80%的外包率仍有差距,預計 2025年我國外包供氣占比有望提升至70%-75%,專業的外包氣體供應商將持續受益。新興產業帶動特種氣體占比有望從2021年的19%提升至2025年的25%:2021年特種氣體需求占比僅19%,電子特氣占據特 種氣體市場的主要份額,隨著下游新興產業加速發展,預計以電子特氣為主的特種氣體占比有望提升至2025年的25%。
近年來全球電子特氣市場保持平穩增長,據統計,2021年全球電子特氣市場規模達46億美元,預計未來行業將保持在5%左右的增速,市場規模在2024年達到54億美元。
近年來全球半導體、顯示面板產業逐步向國內轉移,半導體集成電路方面的自主研發及產業化將得到大力推動,集成電路、顯示面板產業的發展將形成對電子特種氣體材料需求的有效帶動,據統計,中國電子特氣2021年市場規模為167億元,預計2024年我國電子特氣市場規模將達到230億元,2020-2024年復合增速將達11.28%,增速高于全球。
電子特氣在晶圓制造材料中占比13.1%僅次于硅片,是第二大耗材:電子特氣主要應用于晶圓制造的光刻、刻蝕、摻雜、外 延沉積等核心工藝環節,其純度和潔凈度直接影響到半導體器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率,2021年在晶圓制 造材料需求中占比約13.1%,僅次于硅片,是晶圓制造材料中的第二大耗材。
半導體、顯示面板、光伏等為電子特氣主要下游,我國半導體行業需求占比有望從2021年的43%提升至2025年的55% :電 子特氣為半導體、顯示面板、光伏、LED等下游領域制造環節的重要耗材,半導體在我國電子特氣需求中占比低于全球水平, 隨著半導體產業加速向我國轉移,預計未來三年我國半導體行業占電子特氣需求比例有望從2021年的43%提升至2025年的 55% 。
隨著集成電路、顯示面板、光伏能源等新興產業的發展,特種氣體的國產化需求愈加明顯。同時,隨著國家政策的大力支持和國內特種氣體的技術突破,客觀上國內的特種氣體開始逐步具備替代進口的能力,未來國產替代進口的市場需求廣闊。
四大跨國巨頭壟斷全球電子特氣91%市場:21世紀以來,全球氣體行業形成了美國空氣集團、法國液空集團、德國林德集團、 日本太陽日酸四家巨頭公司壟斷的行業格局;2018年,四家氣體巨頭占據了全球電子特氣市場約91%的市場份額。 2025年我國電子特氣國產化率有望提升至25%:由于我國電子特氣行業起步晚,過去國內氣體企業與國外巨頭存在較大技術 代差,2020年我國電子特氣國產化率僅14%。我們預計未來三年國內氣體企業所占份額有望提升至25%。
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