由于半導體和微電子技術向更高性能、更高集成度發展,對電子特氣的純度提出了越來越高的要求,電子特氣的的凈化愈加關鍵和重要。
一、特種氣體的概念及產業鏈
電子特種氣體(簡稱電子特氣),是指用于半導體、平板顯示及其它電子產品生產的特種氣體。在整個半導體行業的生產過程中,從芯片生長到最后器件的封裝,幾乎每一個環節都離不開電子特氣,而且所用氣體的品種多、質量要求高,所以電子氣體又有半導體材料的“糧食”之稱。
電子特氣廣泛應用于半導體、微電子和相關的太陽能電池等高科技產業,或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗,或用作載氣、保護氣氛等等。由于半導體和微電子技術向更高性能、更高集成度發展,對電子特氣的純度提出了越來越高的要求,電子特氣的的凈化愈加關鍵和重要。
從電子特氣產業鏈來看,上游原料是空氣、空氣廢氣以及基礎化學原料,設備則包括氣體設備、氣體分離設備、氣體純化設備、壓力容器等;下游則是主要應用領域,包括但不限于集成電路、顯示面板、LED與光伏等泛半導體行業。
國內的超高純度凈化技術主要依賴進口,自身的技術水準(6N)與國際先進水平(8-9N)有較大差距。本項目將設計和研發一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新型納米凈化劑,對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應性氣體、腐蝕性氣體等5個系列,50多種電子特氣進行末端凈化,使電子特氣純度由ppm級提高到ppb、ppt級,并將特氣傳輸和控制系統對氣體純度的影響降至最小,從而極大地改善工藝能力,降低產品缺陷, 提高制程的產量,滿足下一代半導體、微電子以及相關高技術發展的需要。本項目將形成有自主知識產權的超高純度電子特氣凈化技術,解決超高純度電子特氣凈化這一核心技術的國產化問題。
特種氣體占工業氣體比重在20%左右。近幾年來,隨著我國工業氣體行業的快速發展,特種氣體的市場需求得到快速成長,市場規模實現持續高增速發展。2016年中國的特種氣體市場規模為156億元,到2020年已經達到282億元。2016年-2020年期間,中國特種氣體市場年平均增速達15%以上,增速明顯。據第三方機構預計,接下來特種氣體市場仍將保持15%以上高速增長趨勢,預計2025年中國特種氣體市場有望達到691億元的規模。
我國正積極承接全球第三次半導體產業轉移,2021年中國電子特氣市場規模約為196億元,未來隨著先進制程及存儲技術需求增加、顯示市場持續增長、“碳中和”及“碳達峰”對光伏需求的增加,將顯著拉動我國電子特氣需求,也將進一步加速電子特氣國產化進程。
根據中研普華產業研究院發布的《2023-2028年中國電子特氣行業發展趨勢及投資預測報告》顯示:
與國外氣體公司相比,大部分國內氣體公司的供應產品較為單一,純度級別不高,尤其在液晶面板、LED、光纖通信、光伏等高端領域,相關特種氣體產品主要依賴進口。根據中國工業氣體工業協會統計,目前集成電路生產用的特種氣體中,我國僅能生產約20%的品種,其余均依賴進口。我國國內企業所能批量生產的特種氣體目前仍主要集中在集成電路的清洗、蝕刻、光刻等工藝環節,對摻雜、沉積等工藝的特種氣體僅有少部分品種取得突破。但最近幾年,國內企業正在技術上奮起直追,在需求拉動下,市場占有率正不斷提高。
近年來隨著我國電子特氣制造企業不斷實現關鍵核心技術的創新突破,與國際先進水平差距進一步縮小,外資氣體公司在我國的市場份額有所下滑。國內部分電子特氣廠商如凱美特氣、華特氣體、金宏氣體、派瑞氣體、綠菱氣體等公司迅速崛起,實現了部分電子特氣產品的進口替代,國內企業占據我國電子特氣行業的市場份額不斷提升。
全球氣體行業兩極分化嚴重,前五大廠家占據了近80%的市場規模,而另外的近萬家廠家只占據了不到20%的市場規模。目前,世界特種氣體行業基本被美、德、法、日等國家的幾大公司壟斷,并有繼續向發展中國家擴張的趨勢。目前,在中國工業氣體市場上,國際六大氣體公司都已悉數進入中國,包括德國林德公司、法國液化空氣公司、美國普萊克斯公司(Praxair)、美國空氣化工產品公司(APCI)、日本大陽日酸公司(NipponSanso)和德國梅塞爾公司(Messer)。
我國LED市場規模也保持增長走勢,2021年全國LED市場規模達到9428億元,增速9.3%,較2017年LED市場規模擴張了3070億元。當前我國電子特氣行業的主要下游產業均呈現出迅猛發展態勢,隨著下游集成電路、顯示面板、LED、光伏、電子產品等新興行業的產業規模不斷壯大,我國電子特氣行業也將迎來高速發展。
2022年7月國家工信部、科技部、自然資源部聯合發布《“十四五”原材料工業發展規劃》,要求圍繞集成電路、信息通信、能源產業等重點應用領域,攻克特種涂層、光刻膠、工業氣體、催化、光功能、儲氫材料等一批關鍵材料。在國家政策不斷利好電子特氣行業發展的背景下,我國電子特氣行業有著廣闊光明的發展前景。
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2023-2028年中國電子特氣行業發展趨勢及投資預測報告
電子特種氣體(簡稱電子特氣),是指用于半導體、平板顯示及其它電子產品生產的特種氣體。在整個半導體行業的生產過程中,從芯片生長到最后器件的封裝,幾乎每一個環節都離不開電子特氣,而且所...
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